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超微細加工の基礎―電子デバイスプロセス技術/日本工業新聞社 半導体製造装置用語辞典/日本工業新聞社 半導体のすべて 入門ビジュアルテクノロジー/日本実業出版社 　　　　　最終更新日;2002/11/8 　 　　 イントロダクション 薄膜生成工程 露光工程 エッチング工程 不純物添加工程 リンク集 　 ■ICチップができるまで 　−　リンク集 ナノエレクトロニクスより 　半導体 　トランジスタ 　半導体メモリ 　論理回路 　有機トランジスタ＆プリンタブル集積回路 　分子エレクトロニクス 外部リンク 　関連R&D 　　国内 　　　富士通 　　　日立 　　　松下 　　　東芝 　　　SELETE(半導体先端テクノロジーズ) 　　　STARC(半導体理工学センター) 　　　JEITA(電子情報技術産業協会) 　　海外 　　　Intel 　　　Texas Instruments 　技術紹介ページなど 　　　Silicon Showcase Breaking Barriers to Moore's Law - Intel 　　　The Chip Making Process - infras.com 　　　Semiconductor Manufacturing Process 　ニュース 　　日本の半導体、再起賭ける - 日本工業新聞(2002/11) 　　2グラムのチップ1個の“本当の重さ” - ZDNet(2002/11) 　　Why microchips weigh over a kilogram - nature science update(2002/11) 不純物添加工程 <