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DPN(Dip-Pen Nanolithography);ソフトリソグラフィー




Dip-Pen Lithographyの簡略なモデル図
ディップペン・ナノリソグラフィー
(DPN,Dip Pen Nanolithography)

DPNとは、他のナノリソグラフィーと異なり、AFM(原子間力顕微鏡)の先を通して分子を対象表面に伝わせて、それを「分子インク」として直接書き込む方法です。そのため他のナノリソグラフィーと区別して、ソフトリソグラフィーと分類します。(関連ページ;「実現手段>SPMによる表面分析」)

化学的に安定な自己組織化単層(SAM,self-assembled monolayers)を形成しているのが特徴的です。具体的には、金でできた対象表面にアルキルチオール(RSH)を近づけると、チオール基がアルキル鎖とくらべて、金原子とより強い結合をつくるために、自己組織化によってきれいに並びます。(関連ページ;「実現手段>自己組織化」

現在のところ、このDPNを使って50nm程度のラインを描くことができます。これは、従来の光学ナノリソグラフィー(可視光;400〜700nm,EUV;〜200nm)と比較しても、はるかに精度が高いといえます。またAFMが元になっているため、対象表面を観察しながら、リソグラフィーとして書き込むことができるという特徴があります。(関連ページ;「実現手段>ナノリソグラフィー」)

まだDPN自体が考案されて間がないために課題は多いですが、可能性を秘めたナノリソグラフィーです。

 -アイコンの説明-
  ・・・「気になる科学ニュース調査」からの関連記事です。
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翻訳サイトの紹介が別ウィンドウで開きます。

SPMによる表面分析(ナノテクガイド内から)
 「ナノテクノロジーガイド>実現手段>SPMによる表面分析」
 DPNの基となっている原子間力顕微鏡(AFM)の解説など。


自己組織化(ナノテクガイド内から)
 「ナノテクノロジーガイド>実現手段>自己組織化」
 DPNの原理の大きな特徴である自己組織化単層(SAM)に関してのページ。


ナノリソグラフィー(ナノテクガイド内から)
 「ナノテクノロジーガイド>実現手段>ナノリソグラフィー」
 従来のナノリソグラフィーについて。

Surface Science and Dip-Pen Nanolithography
 - Northwestern大(英語)

 DPNの詳細な解説のほか、実際にDPNを使って描いたものなど。あの有名なファインマンのスピーチをDPNで書いています。

Sefl-Asemmbled Monolayers - JRCAT(アトムテクノロジー研究体)(英語)
 自己組織化単層について詳細に説明。独自の研究内容紹介など。

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